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科普篇:福州干式真空泵的四大特性

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科普篇:福州干式真空泵的四大特性

發布日期:2018-01-22 作者:福州干式真空泵 點擊:

今天小編來給大家科普下福州干式真空泵,干式真空泵主要在半導體行業、化學工業、薄膜產業得到應用于發展。國外的干泵市場正處于蒸蒸日上的階段,如日本,半導體行業已全部用干式真空泵代替油封式機械泵,而歐美半導體行業45%以上用干式真空泵代替了油封式機械泵,大大提高了產品的性能和質量。干式真空泵主要有以下四大特點:

福州干式真空泵

1、真空度

咪兔最新版干式真空泵、爪式真空泵、無油渦旋真空泵極限真空度都很高,最高極限真空均可達到1-2Pa,珂勒曦的干式螺桿真空泵極限真空已突破0.1Pa;無油往復真空泵為粗真空設備,極限真空度低,需要搭配羅茨等其他真空泵提高極限真空。

2、抽氣量

無油渦旋真空泵由于內部結構問題,抽氣量較小,只適用于小抽氣量的工藝中;干式螺桿真空泵型號齊全,可適用大抽氣量工藝中,配合羅茨真空泵可以滿足不同客戶的需求。

3、穩定性

福州干式真空泵性能穩定,噪音低,故障率低;無油往復真空泵結構簡單,噪音較高,需要經常更換滑片。爪式真空泵由于裝配復雜,轉子與軸不為一體,出現故障需全部重新拆解裝配,反復裝配從而降低產品性能及穩定性。

4、特殊工況處理

咪兔最新版由于化工、制藥、半導體行業等相關工藝氣中會不同程度含有易燃、易爆以及腐蝕性氣體,所以干式真空泵需要特殊處理。干式螺桿真空泵內部結構簡單,兩根轉子、泵腔均可做防腐處理,常見的有鎳磷涂層和特氟龍涂層,珂勒曦干式螺桿真空泵采用則是特殊的多層鍍鎳和納米材料鍍層,有效防止鹽酸等高腐蝕性介質對設備的侵蝕。爪式真空泵很難做防腐處理,各級隔板之間幾乎無法做表面處理,轉子表面的防腐涂層也容易在裝配時損傷。無油渦旋真空泵只適合抽潔凈的氣體,不能抽取易燃、易爆及具有腐蝕性的氣體。

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